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观感仪

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名称:光学观感仪-Zeta系列

分类:观感仪

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详细说明:
  Zeta强大的成像测量功能,使其能够对各种品牌和结构的案例进行测量分析:
ª 从光滑面到粗糙面
ª 从低反射面到高反射面
ª 从透明衬底到不透明衬底
ª 从单层结构到多层结构
ª 从亚日期级到毫米级
网络赌足球比赛 ZDOT ZXI ZIC ZSI ZFT
粗糙度>40nm        
粗糙度<40nm        
大视场、Z轴高分辨率        
15nm~25mm台阶        
5nm~100μm台阶        
<10nm台阶        
缺陷<1μm,高度<75nm      
缺陷>1μm,高度<75nm        
30nm<膜厚<15μm        
膜厚>15μm        
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